发明名称 一种抛光机压头纯水冲洗装置
摘要 一种抛光机压头纯水冲洗装置,三通接头Ⅰ的三个接口分别与原纯水管路、原水抛管路和三通接头Ⅱ连接,三通接头Ⅱ的另外两个接口分别通过前支管和后支管与上述两条喷头支路连接,每条喷头支路包括一个三通接头Ⅲ和两只喷头,以实现每个喷头单独清洗一个压头。本实用新型具有结构简单、安装方便的优点,而且冲洗过程和水抛过程同步,不额外占用生产时间,并且完全自动化;冲洗过程可根据需要适时调整喷嘴的角度和水量大小,调好后不需要人工参与,实用性和安全性能好,可以有效避免SPM‑19型抛光机压头表面抛光液结晶的形成,降低了设备停机率和生产成本,提高了工艺稳定性。
申请公布号 CN205968607U 申请公布日期 2017.02.22
申请号 CN201620871592.9 申请日期 2016.08.12
申请人 麦斯克电子材料有限公司 发明人 郭光灿;范强;高战锋;苗亚龙
分类号 B24B37/34(2012.01)I 主分类号 B24B37/34(2012.01)I
代理机构 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 代理人 狄干强
主权项 一种抛光机压头纯水冲洗装置,其特征在于:包括三通接头Ⅰ(1)、三通接头Ⅱ(2)和两条喷头支路(3),其中,三通接头Ⅰ(1)的三个接口分别与原纯水管路(4)、原水抛管路(5)和三通接头Ⅱ(2)连接,三通接头Ⅱ(2)的另外两个接口分别通过前支管(6)和后支管(7)与上述两条喷头支路(3)连接,每条喷头支路(3)包括一个三通接头Ⅲ(301)和两只喷头(302),且三通接头Ⅲ(301)的一个接头与前支管(6)或后支管(7)连接,另外两个接头均通过管路与两个喷头(302)连接,所述两条喷头支路(3)中的四个喷头(302)分别延伸到抛光机的四个压头(8)处,以实现每个喷头(302)单独清洗一个压头(8)。
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