| 摘要 |
【課題】連続的に処理室に搬送される処理対象物をオゾンにより処理する装置において、処理室から高濃度のオゾンが排出されるのを避ける。【解決手段】本発明のオゾン処理装置１は、処理対象物１００に殺菌処理が施される処理室１０と、搬入口１４から処理室１０の内部に処理対象物１００を搬入し、かつ搬出口１５から搬出するコンベヤ１７と、処理室１０にオゾンを供給するオゾン供給源３０と、搬入口１４に付随して設けられる、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線を出射する第一分解光源２１と、搬出口１５に付随して設けられる、オゾン分解作用を有する波長域の紫外線を出射する第二分解光源２２と、を備える。【選択図】図１ |
