| 摘要 |
본 발명은, 내부 공동(18)을 부분적으로 둘러싸는 마이크로미러 칩(12a, 12b)용 조립체(10)에 관한 것으로, 상기 조립체(10, 40)는 서로 멀어지는 방향을 향하는 2개의 측면(10a, 10b)에, 미리 정의된 스펙트럼을 투과시키도록 형성된 부분 외벽(20, 22)을 적어도 하나씩 포함하고, 상기 조립체(10, 40)는, 제1 부분 외벽(20)을 통과해서 침투하는 광 빔(26)이 제1 마이크로미러 칩(12a)에 의해 제2 마이크로미러 칩(12b) 상으로 편향될 수 있도록, 그리고 제2 마이크로미러 칩(12b)에 의해 제2 부분 외벽(22)을 통과해서 편향될 수 있도록, 제1 마이크로미러 칩(12a)이 일체로 설치될 수 있는 하나 이상의 제1 외부 개구(24a)와, 제2 마이크로미러 칩(12b)이 일체로 설치될 수 있는 제2 외부 개구(24b)를 갖는다. 또한, 본 발명은 미러 장치와도 관련이 있다. 더 나아가, 본 발명은 미러 장치의 제조 방법과도 관련이 있다. |
