一种检测柔性电子器件导电性能的装置

摘要

本发明公开了一种检测柔性电子器件导电性能的装置，该装置包括基座、位移台、电动机、探针、弯曲机构、显微镜、显示器、源表和控制器，所述的位移台包括第一位移台和第二位移台，分别设于所述基座上的左右两端，所述弯曲机构的左右两端分别与两个位移台相接，且所述的探针设于每个位移台上；所述的电动机包括第一电动机和第二电动机，设于所述基座的左右两侧，且分别与所述第一位移台和第二位移台相接；所述基座的中部后侧设有显微镜安装座，所述的显微镜设于所述的显微镜安装座上；所述的探针与所述源表相接，所述源表、显微镜、电动机和显示器均与所述控制器相接。本发明可实时获取电迁移失效时的判定参数，最终有效实现电迁移失效的预判和控制。

主权项

一种检测柔性电子器件导电性能的装置，其特征在于该装置包括基座、位移台、电动机、探针、弯曲机构、显微镜、显示器、源表和控制器，所述的位移台包括第一位移台和第二位移台，分别设于所述基座上的左右两端，所述弯曲机构的左右两端分别与两个位移台相接，且所述的探针设于每个位移台上；所述的电动机包括第一电动机和第二电动机，设于所述基座的左右两侧，且分别与所述第一位移台和第二位移台相接；所述基座的中部后侧设有显微镜安装座，所述的显微镜设于所述的显微镜安装座上；所述的探针与所述源表相接，所述源表、显微镜、电动机和显示器均与所述控制器相接。