发明名称 用于结合基体的方法及装置
摘要 本发明涉及用于将第一基体(35)的第一接触面(35k)与第二基体(36)的第二接触面(36k)结合的方法和相对应的装置,具有下列步骤、尤其下列流程:将由所述第一基体(35)及所述第二基体(36)形成的、在接触面(35k、36k)处对准的基体堆(14)布置在第一加热设备(30)的第一加热面(15)与第二加热设备(26)的第二加热面(19)之间,其中,e)所述第一加热面(15)布置成面向所述第一基体(35)的与所述第一接触面(35k)背离的第一表面(35o),f)所述第二加热面(19)布置成面向所述第二基体(36)的与所述第二接触面(36k)背离的第二表面(36o),g)在所述第一表面(35o)与所述第一加热面(15)之间存在>0µm的间距A,及h)在所述第二表面(36o)与所述第二加热面(19)之间存在>0µm的间距B,加热加热面(15、19)且通过将间距A及B减小至0µm使得所述基体堆(14)接近加热面(15、19),通过在表面(35o、36o)处压力加载所述基体堆(14)使得在所述第一接触面(35k)与第二接触面(36k)之间构造出结合。
申请公布号 CN105960703A 申请公布日期 2016.09.21
申请号 CN201480074793.X 申请日期 2014.02.03
申请人 EV 集团 E·索尔纳有限责任公司 发明人 F.P.林德纳
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 杨国治;张昱
主权项 用于将第一基体(35)的第一接触面(35k)与第二基体(36)的第二接触面(36k)结合的方法,具有下列步骤、尤其下列流程:‑ 将由所述第一基体(35)及所述第二基体(36)形成的、在接触面(35k、36k)处对准的基体堆(14)布置在第一加热设备(30)的第一加热面(15)与第二加热设备(26)的第二加热面(19)之间,其中,a)所述第一加热面(15)布置成面向所述第一基体(35)的与所述第一接触面(35k)背离的第一表面(35o),b)所述第二加热面(19)布置成面向所述第二基体(36)的与所述第二接触面(36k)背离的第二表面(36o),c)在所述第一表面(35o)与所述第一加热面(15)之间存在>0 µm的间距A,及d)在所述第二表面(36o)与所述第二加热面(19)之间存在>0 µm的间距B,‑ 加热加热面(15、19)且通过将间距A及B减小至0 µm使得所述基体堆(14)接近加热面(15、19),‑ 通过在表面(35o、36o)处压力加载所述基体堆(14)使得在所述第一接触面(35k)与第二接触面(36k)之间构造出结合。
地址 奥地利圣弗洛里安