| 发明名称 | 用于氮化钛层的蚀刻剂组合物及使用其形成金属线的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供用于TiN层的蚀刻剂组合物和使用所述蚀刻剂组合物形成金属线的方法，所述蚀刻剂组合物包括(A)以重量计75％‑95％的选自硫酸和烷基磺酸中的至少一种化合物、(B)以重量计0.3％‑10％的过氧化物、(C)以重量计0.0001％‑3％的无机铵盐以及(D)余量的水。 | ||
| 申请公布号 | CN105936822A | 申请公布日期 | 2016.09.14 |
| 申请号 | CN201610111879.6 | 申请日期 | 2016.02.29 |
| 申请人 | 东友精细化工有限公司 | 发明人 | 洪亨杓;梁振锡;洪宪杓;金相泰;李京浩 |
| 分类号 | C09K13/04(2006.01)I;C09K13/06(2006.01)I;C09K13/00(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人 | 钟锦舜 |
| 主权项 | 用于TiN层的蚀刻剂组合物，包括：(A)以重量计75％‑95％的选自硫酸和烷基磺酸中的至少一种化合物；(B)以重量计0.3％‑10％的过氧化物；(C)以重量计0.0001％‑3％的无机铵盐；以及(D)余量的水。 | ||
| 地址 | 韩国全罗北道 | ||