一种检测IGBT功率器件可靠性的方法及装置

摘要

本发明涉及功率器件领域，尤其涉及一种检测IGBT功率器件可靠性的方法及装置，该方法采用显微红外测量方法，获得不同衬底材料和功率器件的显微红外热像图，从而得到不同基板温度和偏置条件下的峰值结温，采用热敏参数测量方法得到功率器件的平均热阻，通过峰值结温、平均热阻和显微红外热像图对功率器件的材料、结构和工艺进行有效评估，进而准确地对IGBT功率器件的可靠性进行评价。

主权项

一种检测IGBT功率器件可靠性的方法，其特征在于，包括：步骤110、测量IGBT功率器件在不同栅压下漏压值和漏电值，计算得到所述IGBT功率器件的直流稳态功率；步骤120、检测所述IGBT功率器件的峰值结温，得到所述IGBT功率器件的峰值结温值和显微红外热像图；步骤130、采用热敏参数法测量IGBT功率器件的平均热阻；步骤140、根据所述IGBT功率器件的直流稳态功率、所述峰值结温和所述平均热阻，通过数学拟合方法分别得到峰值结温与直流稳态功率的关系和平均热阻与直流稳态功率的关系；步骤150、根据峰值结温与直流稳态功率的关系和平均热阻与直流稳态功率的关系，对所述显微红外热像图进行分析，得到所述IGBT功率器件的可靠性的检测结果。