| 发明名称 | 一种用于在连续传送蓝宝石基片的同时对蓝宝石基片进行化学增韧的设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于在连续传送蓝宝石基片的同时对蓝宝石基片进行化学增韧的设备，其特征在于包括：反应装置、退火装置和电源装置，反应装置包含：外壳，水冷坩埚(2)，温度控制系统(4)设于水冷坩埚(2)下方，第一反射部件(7)设置于外壳上方，外壳底部设置有电子束蒸发源(5)，退火装置包括：高温退火炉(6)，高温退火炉(6)内含加热元件(10)，传送部件(3)贯穿于反应装置及退火装置，从蓝宝石基片入口(12)进入，经过水冷坩埚(2)内，后经过高温退火炉(6)，并最终从退火装置的蓝宝石基片出口(13)退出，电源装置中的电源控制柜(11)分别和退火装置、反应装置、温度控制系统(4)和传送部件(3)电连接。所述设备能够提高蓝宝石基片化学增韧的效率。 | ||
| 申请公布号 | CN205159350U | 申请公布日期 | 2016.04.13 |
| 申请号 | CN201520873945.4 | 申请日期 | 2015.11.04 |
| 申请人 | 天通银厦新材料有限公司 | 发明人 | 常慧;滕斌;康森;徐金鑫;唐彩丽;张吉 |
| 分类号 | H01L33/00(2010.01)I | 主分类号 | H01L33/00(2010.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种用于在连续传送蓝宝石基片的同时对蓝宝石基片进行化学增韧的设备，其特征在于包括：反应装置、退火装置和电源装置，反应装置包含：外壳，水冷坩埚(2)，温度控制系统(4)设于水冷坩埚(2)下方，第一反射部件(7)设置于外壳上方，外壳底部设置有电子束蒸发源(5)，退火装置包括：高温退火炉(6)，高温退火炉(6)内含加热元件(10)，传送部件(3)贯穿于反应装置及退火装置，从蓝宝石基片入口(12)进入，经过水冷坩埚(2)内，后经过高温退火炉(6)，并最终从退火装置的蓝宝石基片出口(13)退出，电源装置中的电源控制柜(11)分别和退火装置、反应装置、温度控制系统(4)和传送部件(3)电连接。 | ||
| 地址 | 750021 宁夏回族自治区银川市西夏区银川经济技术开发区宏图南街296号 | ||