| 摘要 |
본 발명은, 센서기판 및 상기 센서기판 위에 형성되는 산소감지물질층을 포함하며, 상기 산소감지물질층은, SrTiFeO(X=0~0.6)를 포함하는 박층을 상기 센서기판 위에 형성하고, 상기 박층을 50~200℃에서 열 압착 또는 열 가압에 의해 센서기판에 압착시켜 형성된 것임을 특징으로 하는 산소센서를 제공한다. 본 발명의 산소센서는, 산소감지물질로 사용된 SrTiFeO(X=0~0.6)가 반응시간이 빠르며, 넓은 온도 범위에서 안정하고 온도 의존성이 작으며, 나노사이즈로 형성되기 때문에, 우수한 감도를 제공한다. 또한, 기판과 산소감지물질층 사이의 접착성이 우수하여 기계적, 열적, 전기적 안정성이 높은 초고감도 산소센서를 제공한다. |
