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고수율과 저암전류의 적층형 고체 촬상 소자의 제조 방법을 제공한다. 고체 촬상 소자는, 화소 전극 (3) 과 전기적으로 접속되는 플러그 (20) 와, 플러그 (20) 와 접속되는 접속부 (11) 와, 수광층 (4) 에서 발생하여 접속부 (11) 로 이동한 전하에 따른 신호를 판독 출력하는 신호 판독 출력부를 구비한다. 기판 (1) 표면에 접속부 (11) 를 형성하는 공정과, 신호 판독 출력부 및 접속부 (11) 를 형성한 기판 (1) 상방에 절연막 (2) 을 형성하고, 평면에서 보았을 때에 있어서 접속부 (11) 보다 내측의 위치에 접속부 (11) 보다 작은 개구 (k) 를 절연막 (2) 에 형성하는 공정과, 개구 (k) 에 도전성 재료를 매립하여 플러그 (20) 를 형성하는 공정과, 플러그 (20) 상에 화소 전극 (3) 을 형성하는 공정을 포함하고, 설계상 개구 (k) 와 접속부 (11) 의 중심이 일치하고 또한 당해 중심을 통과하는 모든 방향에 있어서의 개구 (k) 의 단부에서 접속부 (11) 의 단부까지의 거리가 당해 방향에 있어서의 개구 (k) 의 폭의 20 ％ 이상 50 ％ 이하가 되도록 개구 (k) 및 접속부 (11) 를 형성한다. |
