ガス放電ランプ及び冷却装置を備えたシステムを較正する方法

摘要

本発明は、ガス放電ランプ（１）、及びガス放電ランプ（１）を冷却する冷却装置（２）を備えたシステム（３）のための較正データ（&Dgr;ＵＸ、ＣＰＸ）を生成する方法を説明するものである。本方法は、ランプ動作パラメータデルタ（&Dgr;Ｕ）とランプ冷却状況パラメータデルタ（&Dgr;Ｐ、&Dgr;Ｂ）との間の相関関係（ＲＰ−Ｕ）を設定するステップと、設定された相関関係（ＲＰ−Ｕ）に基づいて、冷却装置制御パラメータ（ＣＰ、ＣＰＸ）をランプ動作パラメータデルタと関連付けるステップと、を含む。本発明はまた、ガス放電ランプ（１）、及びガス放電ランプ（１）を冷却する冷却装置（２）を備えたシステム（３）の冷却装置（２）を較正する較正方法を説明するものである。本発明はまた、高圧ガス放電ランプ（１）を備えたシステム（３）において冷却装置（２）を制御する制御方法を説明するものである。本発明はさらに、高圧ガス放電ランプ（１）と、高圧ガス放電ランプ（１）を冷却する冷却装置（２）であって、本発明に従った較正方法を用いて較正される冷却装置（２）と、本発明に従った制御方法を用いて冷却装置（２）を制御する冷却装置コントローラ（３３）と、を備えたシステム（３）を説明するものである。