发明名称 单晶矽提拉用二氧化矽容器及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI509117 申请公布日期 2015.11.21
申请号 TW101140103 申请日期 2012.10.30
申请人 信越石英股份有限公司 发明人 山形茂
分类号 C30B15/10 主分类号 C30B15/10
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种单晶矽提拉用二氧化矽容器,其具有由含有气泡之不透明二氧化矽玻璃所构成之外层、及由实质上不含气泡之透明二氧化矽玻璃所构成之内层,并具有底部、弯曲部、及直筒部,该单晶矽提拉用二氧化矽容器的特征在于:在前述内层的表面形成有槽,该槽自至少前述底部的一部份,经由前述弯曲部,延续到至少前述直筒部的一部分。
地址 日本