具有磁场增强旋转阵列电极的等离子体装置

摘要

具有磁场增强旋转阵列电极的等离子体装置属于等离子体物理基础和应用领域。其特征在于包括：真空室、放电系统、卷绕系统；其中放电系统、卷绕系统均装在真空室内；放电系统包括旋转阵列电极（2-1）、射频或高频电源（2-2）、绝缘块和等离子体（2-4）；射频或高频电源（2-2）的两输出端分别连接到旋转阵列电极端部，绝缘块（2-3）使旋转阵列电极（2-1）和真空室（1-1）电隔离；外磁体位于旋转电极辊上方或下方，和内磁体构成一个闭合磁回路，约束放电产生的等离子体。本发明实现对电极阵列放电，阵列电极同时也是柔性基体旋转辊，提高等离子体的密度、增加放电稳定性、排除旋转阵列电极之间放电干扰、减少沉积薄膜对真空室的污染。

主权项

具有磁场增强阵列电极的等离子体装置，其特征在于包括：真空室、放电系统、卷绕系统；其中放电系统、卷绕系统均装在真空室内；真空室分为3个室，第三真空室(1‑3)、第二真空室(1‑2)分居于第一真空室(1‑1)的两侧，第一真空室(1‑1)是沉积室，卷绕系统包括放卷部分、收卷部分和沉积室内的柔性薄膜；第二真空室(1‑2)为卷绕系统的放卷部分提供真空条件，放卷部分包括柔性基体、导向辊、变向辊、放卷；第三真空室(1‑3)为卷绕系统的收卷部分提供真空条件，收卷部分包括柔性基体、张力控制辊、中间辊、纠偏系统和收卷；放电系统包括旋转阵列电极(2‑1)、射频或高频电源(2‑2)、绝缘块(2‑3)和等离子体(2‑4)；射频或高频电源(2‑2)的两输出端分别连接到旋转阵列电极端部，绝缘块(2‑3)使旋转阵列电极(2‑1)和第一真空室(1‑1)电隔离；每对同样结构的旋转阵列电极之间的等离子体由放电气体(2‑5)，工作气体(2‑6)共同产生；旋转阵列电极包括6～10对，即上下3～5对同样结构的旋转电极辊、内磁体、外磁体、磁导和绝缘块，旋转电极辊由传动电机带动旋转，旋转电极辊内引入循环冷却水，控制旋转电极辊表面温度；外磁体位于旋转电极辊上方或下方，和内磁体构成一个闭合磁回路，约束放电产生的等离子体；放电电源输出两端分别接到构成磁回路两个旋转电极辊上，产生等离子体；每对旋转阵列电极包括两个电极辊，相邻两对电极的相邻的电极辊上电压极性一定相同；传动电机带动旋转电极辊转动使柔性基体在旋转电极辊上传输；纠偏系统是对柔性基体在轴向方向的传输偏差进行控制。