射频（RF）功率滤波器及含射频功率滤波器的等离子体处理系统

摘要

一种用于过滤由等离子体处理系统中的静电卡盘（ESC）传送的射频（RF）功率的滤波器。该等离子体处理系统可以包括设置在该ESC的加热元件。该滤波器可以包括核心构件和电缆，该电缆缠绕并且沿着核心构件缠绕从而形成电感器组。该电缆可以包括多个导线，该多个导线包括第一导线和第二导线，该第一导线的一部分和该第二导线的一部分扭结在一起，该第一导线的第一端和该第二导线的第一端与加热元件相连，该第一导线的第二端和该第二导线的第二端中的每一个与电容器相连并且与功率源相连。

主权项

一种用于过滤从等离子体处理系统中的静电卡盘(ESC)所传送的射频(RF)功率的滤波器，所述等离子体处理系统包括配置在所述ESC的第一部分的至少第一加热元件，所述等离子体处理系统进一步至少包括功率源，所述滤波器包括：第一核心构件；第一多个电容器，所述第一多个电容器包括至少第一电容器和第二电容器；以及第一电缆，其缠绕并沿着所述第一核心构件的至少第一部分缠绕以形成具有第一组电感系数的至少第一组电感器，所述第一电缆包括至少第一多个导线，所述第一多个导线包括至少第一导线和第二导线，所述第一导线与所述第二导线接触，所述第一导线的至少一部分与所述第二导线的至少一部分扭结在一起，所述第一导线的第一端与所述第一加热元件相连，所述第一导线的第二端与所述第一电容器相连并且与所述功率源相连，所述第二导线的第一端与所述第一加热元件相连，所述第二导线的第二端与所述第二电容器相连并与所述功率源相连；其中所述等离子体处理系统进一步包括配置在所述ESC的第二部分的至少第二加热元件，所述第一多个电容器进一步包括至少第三电容器和第四电容器，所述第一电缆的所述第一多个导线进一步包括至少第三导线和第四导线，所述第三导线的第一端与所述第二加热元件相连，所述第三导线的第二端与所述第三电容器相连并与所述功率源相连，所述第四导线的第一端与所述第二加热元件相连，所述第四导线的第二端与所述第四电容器相连并与所述功率源相连，并且所述第一导线的所述一部分、所述第二导线的所述一部分、所述第三导线的至少一部分、所述第四导线的至少一部分扭结在一起。