光活性化エッチングペーストおよびその使用

摘要

可撓性ポリマー基板、ガラスのような硬質基板上、またはシリコンウエハ上に配置された透明導電性酸化物層をエッチングするための改良された方法は、照射によって活性化される、新規なエッチングペーストの使用を含む。