苛刻环境的光学元件保护

摘要

用于保护光学元件，特别是反射性光学元件免于在苛刻环境(例如，EUV光源的真空室内的环境)中使它们光学性质劣化的光学元件保护系统。系统包括在各层中使用材料的组合，其中对材料进行选择并对层进行配置和布置，以延长光学元件的寿命而不损害其光学性质。

主权项

一种用于反射远紫外辐射的光学元件，所述光学元件包括：至少两种介电材料的交替层的堆叠；以及布置在所述堆叠的最外层上的保护层，其中，所述保护层包含ZrN。