具有基板倒转器系统与夹持系统的分配装置与用于分配在基板上的黏性材料的方法;DISPENSING APPARATUS HAVING SUBSTRATE INVERTER SYSTEM AND CLAMPING SYSTEM, AND METHOD FOR DISPENSING A VISCOUS MATERIAL ON A SUBSTRATE

摘要

一种可以分配黏性材料于一基板上的分配器，该基板具有一顶表面与一底表面，该分配器包括：一框体、一起重架系统、与一分配单元。该起重架系统系配置来移动该分配单元于x轴、y轴、与z轴方向中。该分配器另包括一基板支撑组件，该基板支撑组件系配置来支撑该基板于一分配位置中，以分配材料于该基板的该顶表面上与该基板的该底表面上。该基板支撑组件包括一夹持系统与一倒转器系统。该倒转器系统系配置来绕着一轴而旋转该夹持系统于一第一位置与一第二位置之间，该轴系平行于该y轴方向，在该第一位置时，该基板的该顶表面系在该分配位置中，且在该第二位置时，该基板的该底表面系在该分配位置中。