感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其不仅维持高感度、透明性以及耐化学品性，并且显影时的密接性优异。上述感光性树脂组合物含有：(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，以及(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物的至少一者；(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂以及(C)溶剂；并且上述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000。式(1)(S)聚合物的固体酸值(单位：mgKOH/g)×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的(S)聚合物的含有率(单位：质量％)(1)。

主权项

一种感光性树脂组合物，其含有：(A)包含满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物、以及下述(S)聚合物的聚合物成分，(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，(S)重均分子量为1000～50000，而且包括包含羧基的构成单元的聚合物；(B)光酸产生剂；以及(C)溶剂，并且所述(S)聚合物的由式(1)所表示的值为50～3000：式(1)(S)聚合物的固体酸值(单位：mgKOH/g)×相对于感光性树脂组合物中的所有固体成分的(S)聚合物的含有率(单位：质量％)..(1)。