发明名称 SELECTIVELY ETCHING OF A POLYMER MATRIX ON PET
摘要 <p>The present invention relates to a method for selectively etching and patterning with high resolution of flexible polymer matrices, which may comprise Ag nano tubes.</p>
申请公布号 EP2702451(B1) 申请公布日期 2015.04.22
申请号 EP20120711576 申请日期 2012.03.28
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 MEIJER, ARJAN;STOCKUM, WERNER;KOEHLER, INGO
分类号 G03F7/00;B82Y10/00;B82Y40/00;C09K13/02;G03F7/20;H01L51/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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