发明名称 |
SELECTIVELY ETCHING OF A POLYMER MATRIX ON PET |
摘要 |
<p>The present invention relates to a method for selectively etching and patterning with high resolution of flexible polymer matrices, which may comprise Ag nano tubes.</p> |
申请公布号 |
EP2702451(B1) |
申请公布日期 |
2015.04.22 |
申请号 |
EP20120711576 |
申请日期 |
2012.03.28 |
申请人 |
MERCK PATENT GMBH |
发明人 |
MEIJER, ARJAN;STOCKUM, WERNER;KOEHLER, INGO |
分类号 |
G03F7/00;B82Y10/00;B82Y40/00;C09K13/02;G03F7/20;H01L51/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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