发明名称 具有多辐射瓣之线圈天线;COIL ANTENNA WITH PLURAL RADIAL LOBES
摘要 用于一电浆反应器的一种低电感线圈天线,具有复数个导体瓣,从各别无线射频电源连接中轴向延伸出来。
申请公布号 TW201515324 申请公布日期 2015.04.16
申请号 TW103126614 申请日期 2014.08.04
申请人 应用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 肯纳席克弗拉德米尔 KNYAZIK, VLADIMIR;巴那沙莫 BANNA, SAMER;坦汀汪凯尔R TANTIWONG, KYLE R.
分类号 H01Q7/00(2006.01);H01Q1/22(2006.01);H05H7/02(2006.01) 主分类号 H01Q7/00(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财李世章
主权项
地址 美国 US