描绘方法以及描绘装置;DRAWING METHOD AND APPARATUS

摘要

一种描绘方法以及描绘装置，描绘方法包括：检测设置在基板的多个晶片的对准标记的位置，算出距正规位置的位置偏移量。如果是各对准标记间的相对的位置偏移较小的线性偏移，使平台只移动所求出的移动量而调整描绘位置。在非线性偏移的情况下，推定并实际测量另外的对准标记的位置，如果推定位置与实际位置之间的位置偏移小，修正栅格资料，如果推定位置与实际位置之间的位置偏移大，藉由对准标记检测而求出各晶片的位置，并进行重新的栅格图像加工处理。