具有低的热漂移的微机电z轴探测结构

摘要

本发明描述了一种具有低的热漂移的微机电z轴探测结构。该MEMS探测结构，包括：具有顶表面的衬底，其上至少设置有第一固定电极装置；传感块，在平面(xy)内延伸，并且悬浮在所述衬底和所述第一固定电极装置之上一定分隔间距处；以及连接弹性元件，其支撑所述传感块，使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转，根据所探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距。MEMS探测结构进一步包括：耦合块，悬浮在所述衬底之上并且通过所述连接弹性元件与所述传感块连接；以及锚固装置。

主权项

一种MEMS探测结构(10)，包括： ‑具有顶表面(2a)的衬底(2)，其上至少设置有第一固定电极装置(5a)； ‑传感块(3)，在一个平面(xy)内延伸，并且悬浮在所述衬底(2)和所述第一固定电极装置(5a)之上的分隔间距(gap₁)处；以及 ‑连接弹性元件(8a，8b)，构造成支撑所述传感块(3)，使其可以在所述平面(xy)外绕着旋转轴(A)自由旋转，根据将被探测的沿着与所述平面(xy)正交的轴(z)的量改变所述间距(gap₁)； 还包括： 耦合块(12)，悬浮在所述衬底(2)之上并且通过所述连接弹性元件(8a，8b)与所述传感块(3)连接；以及锚固装置(14，15)，构造成将所述耦合块(12)通过至少一个第一限制点(13)锚固到所述衬底(2)上，设置在与所述旋转轴(A)隔开一定距离，且位于与所述第一固定电极装置(5a)相应的位置； 其特征在于，所述锚固装置(14，15)包括至少一个与所述衬底(2)刚性地耦合的锚固元件(14)，以及至少一个支撑弹性元件(15)，所述支撑弹性元件(15)被配置为将所述耦合块(12)与限定所述第一限制点(13)的所述锚固元件(14)连接在一起。