同时分析电镀槽液中至少两种抑制剂的方法

摘要

本发明提供了一种准确、快速和经济的通过使用不同电负载条件而同时确定电镀槽液中至少两种抑制剂浓度的方法。本发明方法能够在在线反馈控制期间有效确定不同抑制剂的浓度，以调整电镀槽液中添加剂的量，以在生产过程中保持添加剂浓度在预定范围内。

主权项

一种确定电镀槽液中第一和第二抑制剂(inhibitor)的添加浓度的方法，包括步骤：通过分别在第一和第二支持溶液上施加第一和第二电负载条件，而确定第一和第二抑制剂的第一和第二抑制剂因子；分别确定测试溶液在所述第一和第二电负载条件下的等效抑制剂浓度，其中所述测试溶液包括原镀液和一部分电镀槽液，所述原镀液是一种含有电镀物质但除了所述第一和第二抑制剂的电解液；根据所述第一和第二抑制剂因子，以及所述测试溶液在所述第一和第二电负载条件下的等效抑制剂浓度，确定所述电镀槽液中第一和第二抑制剂的添加浓度。