VERFAHREN, AUSRÜSTUNG UND SYSTEM ZUM MESSEN VON HOCHFREQUENZ-ÜBERSPRECHEN

摘要

Ein Verfahren, eine Ausrüstung und ein System zum Messen eines Hochfrequenz-Übersprechens werden offenbart. Das Verfahren umfasst: Einstellen eines Impedanzwerts eines Anpassungsnetzwerks entsprechend einer Hochfrequenzelektrode (einschließlich einer Anode und einer Katode) in einem System der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung und/oder das Einstellen eines Impedanzwerts einer Hochfrequenzenergie-generierenden Ausrüstung entsprechend der Hochfrequenzelektrode, so dass die Summe des Impedanzwerts des Anpassungsnetzwerks und des Impedanzwerts der Hochfrequenzelektrode gleich dem Impedanzwert der Hochfrequenzenergie-generierenden Ausrüstung ist; Messen eines von der Hochfrequenzelektrode empfangenen elektrischen Signals mittels der Umkehrbarkeit der Energieübertragung zwischen der Hochfrequenzelektrode und der Hochfrequenzenergie-generierenden Ausrüstung; und Bestimmen der Energie des Hochfrequenz-Übersprechens, dem die Hochfrequenzelektrode gemäß dem gemessenen elektrischen Signal ausgesetzt ist.