| 摘要 |
1. Установка для наводораживания тонкопленочных композитов, характеризующаяся тем, что она содержит, как минимум, СВЧ-печь, внутри которой размещен кварцевый реактор, представляющий собой полый цилиндр, выполненный из кварцевого стекла, на торцах которого установлены диэлектрические фланцы с хвостовиками и с вакуумным уплотнением из термостойкой резины, и внутрь которого помещается исследуемый образец, при этом к каждому из фланцев подведены вакуумные шланги, по одному из которых в кварцевый реактор поступает водород, а через другой производится вакуумирование системы, состоящей из СВЧ-печи и реактора, при помощи механического насоса, причем кварцевый реактор выполнен с возможностью замены исследуемого образца, предпочтительно, за счет выполнения одного из фланцев с возможностью снятия/установки, при этом каждый фланец выполнен составным, состоящим, как минимум, из наружной оболочки, выполненной в виде полого двухступенчатого цилиндра, на наружной поверхности входной части которого выполнена наружная резьба, а на внутренней поверхности входной части выполнен внутренний конус, при этом в выходной части упомянутой наружной оболочки расположен хвостовик для вакуумного шланга, крышки, на внутренней поверхности которой выполнена внутренняя резьба, устанавливаемой на наружную оболочку и взаимодействующей с ней резьбовой поверхностью, уплотнения, устанавливаемого в конический зазор между корпусом реактора и наружной оболочкой и поджимаемого крышкой, при этом между внутренним торцом наружной оболочки и торцом полого цилиндра реактора установлена профилированная прокладка из кварцевого стекла с центр |
