移除金属硬质罩幕之方法及组成物;METHODS AND COMPOSITIONS FOR REMOVAL OF METAL HARDMASKS

摘要

本发明提供一种用于自一基材移除一膜之方法，该方法包含使一组成物涂敷至此膜，且其中，此组成物包含至少下列：a)水；及b)至少一选自下列化合物(i-v)之化合物：i)NR4HF2(化学式1)，其中，R=H、烷基、经取代之烷基，ii)NR4F(化学式2)，其中，R=H、烷基、经取代之烷基，iii)HF(氢氟酸)，iv)H2SiF6(六氟矽酸)，或v)其等之组合。本发明亦提供一种组成物，包含至少下列：a)水；及b)至少一选自下列化合物(i-v)之化合物：i)NR4HF2(化学式1)，其中，R=H、烷基、经取代之烷基，ii)NR4F(化学式2)，其中，R=H、烷基、经取代之烷基，iii)HF(氢氟酸)，iv)H2SiF6(六氟矽酸)，或v)其等之组合。