| 发明名称 | 一种蓝宝石复合衬底和其制备方法及其应用 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种蓝宝石复合衬底及其制备方法及其应用，本方法通过在磊晶前对传统的蓝宝石衬底进行改进处理，增加一层应力协变层，形成蓝宝石复合衬底，用于外延磊晶生长，以此提高LED外延芯片的质量。 | ||
| 申请公布号 | CN103779458A | 申请公布日期 | 2014.05.07 |
| 申请号 | CN201210393371.1 | 申请日期 | 2012.10.17 |
| 申请人 | 江苏汉莱科技有限公司 | 发明人 | 庄文荣;孙明 |
| 分类号 | H01L33/02(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C30B25/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L33/02(2010.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种蓝宝石复合衬底，其特征在于包括蓝宝石衬底，及通过射频磁控溅射系统溅镀在蓝宝石之上的AlN应力协变层。 | ||
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进区凤林路55号 | ||