发明名称 |
用于支撑和输送基板的装置 |
摘要 |
本实用新型涉及用于支撑和输送基板的装置。提供了一种用于设备(11)的印刷基板(12)的支撑和输送单元,其中设备(11)用于沉积由导电或非导电材料制成的印刷迹线,所述印刷基板(12)设置有在第一表面(55)与所述第二表面(56)之间延伸的孔(57)。支撑单元包括第一流体动力回路(32)和第二流体动力回路(33),其中第一流体动力回路(32)适合于产生第一吸入条件以使基板(12)保持附着到支撑单元的支撑表面(113)上,第二流体动力回路(33)不同于并且至少部分地独立于第一流体动力回路,其适合于产生第二受控的吸入条件,该第二受控的吸入条件能够允许利用导电或非导电材料对孔(57)的受控填充。 |
申请公布号 |
CN203391458U |
申请公布日期 |
2014.01.15 |
申请号 |
CN201320397829.0 |
申请日期 |
2012.06.06 |
申请人 |
应用材料意大利有限公司 |
发明人 |
詹佛朗哥·帕斯奎林;马科·加里亚左;戴戈·唐尼;瓦伦蒂娜·福林;乔达诺·洛克;乔治欧·塞勒里 |
分类号 |
B41F17/00(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
B41F17/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
张欣 |
主权项 |
一种用于支撑和输送基板的装置,所述基板用于沉积印刷迹线,所述装置包括:支撑板,该支撑板具有支撑表面,所述支撑表面用于支撑放置在所述支撑表面上的基板;第一流体动力回路,该第一流体动力回路被配置为在所述支撑板的所述支撑表面的一个或多个第一区域中产生第一吸入条件;以及第二流体动力回路,该第二流体动力回路被配置为在所述支撑板的所述支撑表面的一个或多个第二区域中产生第二吸入条件,所述支撑表面还具有多个第一孔和多个第二孔,所述多个第一孔与所述第一流体动力回路流体地连通,所述多个第二孔与所述第二流体动力回路流体地连通,并且第一孔和第二孔至少部分地朝向所述支撑表面开口。 |
地址 |
意大利特雷维索 |