光阻组合物、其涂覆法，利用其形成有机膜图案之方法及由其制造之显示装置

摘要

本文揭示一种适于涂覆于大型基板上且具有改良之涂覆均匀性以防止出现污点的光阻组合物、其涂覆法、利用其形成有机膜图案之方法及由其制造之显示装置。因此本发明提供一种包含并有聚矽氧烷树脂之聚合树脂、感光性化合物及有机溶剂的光阻组合物。因此，可藉由非旋转式涂覆法将光阻组合物涂覆于大型基板上，且藉此可改良涂覆均匀性，可防止诸如积云状污点及树脂条痕之污点出现，且亦可藉此增强利用该光阻组合物制备之最终产品的涂覆速率及品质。