开槽分支型的太赫兹波偏振分束器

摘要

本发明公开了一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器。它包括信号输入端、第一信号输出端、第二信号输出端、基体、逆z形开槽硅波导、z形分支硅波导；基体上设有不相邻的逆z形开槽硅波导和z形分支硅波导，逆z形开槽硅波导由顺次相连的矩形开槽硅波导、第一直拐角连接硅波导和第一输出硅波导组成，矩形开槽硅波导上设有第一矩形耦合缝隙，z形分支硅波导由顺次连接的八边形开槽波导、矩形硅波导、第二直拐角连接硅波导和第二输出硅波导组成，八边形开槽波导上设有第二矩形耦合缝隙，信号从信号输入端垂直入射，经过逆z形开槽硅波导和z形分支硅波导，从信号输出端输出。本发明具有结构简单，分束率高，尺寸小，成本低，便于制作等优点。

主权项

一种开槽分支型的太赫兹波偏振分束器，包括信号输入端（1）、第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3），其特征在于还包括基体（4）、逆z形开槽硅波导（5）、z形分支硅波导（6）；基体（4）上设有不相邻的逆z形开槽硅波导（5）和z形分支硅波导（6），基体（4）中心左侧与逆z形开槽硅波导（5）的左侧相连，逆z形开槽硅波导（5）由顺次相连的矩形开槽硅波导（7）、第一直拐角连接硅波导（8）和第一输出硅波导（9）组成，矩形开槽硅波导（7）上设有第一矩形耦合缝隙（10），第一输出硅波导（9）的右侧与基体（4）右侧相连，z形分支硅波导（6）由顺次连接的八边形开槽波导（11）、矩形硅波导（12）、第二直拐角连接硅波导（13）和第二输出硅波导（14）组成，八边形开槽波导（11）以10μm~50μm的距离与矩形开槽硅波导（7）平行排列，八边形开槽波导（11）上设有第二矩形耦合缝隙（15），第二输出硅波导（14）的右侧与基体（4）右侧相连，信号从信号输入端（1）垂直入射，经过逆z形开槽硅波导（5）和z形分支硅波导（6），从第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）输出。