纯水制造装置及纯水制造方法

摘要

为了有效率的制造硼浓度低的纯水，超纯水制造装置由活性碳装置1、加热器2、膜式过滤装置3、原水槽4、前处理装置5、电去离子装置6与一次纯水的副槽7所构成，前处理装置5由第1逆渗透膜(RO)装置8、第2逆渗透膜(RO)装置9与除碳酸膜装置10所构成，此前处理装置5因应原水W0的水质，设计为将氯化物离子浓度100 ppb以下的处理水W1导入电去离子装置6的除盐室。