微电子机械微波功率自动检测系统及其检测方法和制备方法

摘要

微电子机械微波功率自动检测系统及其检测方法和制备方法，检测系统包括一个粗测用电容式MEMS微波功率传感器、十个精确测量用电容式MEMS微波功率传感器、功率分配器、终端负载电阻、热电堆和控制用的反馈数字电路，反馈数字电路根据粗测用电容式MEMS微波功率传感器的粗测结果产生一个基准电压，并衍生出十个精度更高一位以粗测结果的为序列首的递增执行电压序列，再参考终端负载电阻的反应以及精度的需求，改变执行电压的序列，最终根据临界的下拉固支梁电容式MEMS微波功率传感器的执行电压计算出十个支路的微波功率的值。本发明提出一种新的微电子机械微波功率自动检测系统及检测方法和制备方法，实现对微波功率的精确检测。

主权项

1.微电子机械微波功率自动检测系统，其特征是包括电容式MEMS微波功率传感器、功率分配器、终端负载电阻、热电堆和反馈数字电路，电容式MEMS微波功率传感器包括一个粗测用电容式MEMS微波功率传感器和十个精确测量用电容式MEMS微波功率传感器，十一个电容式MEMS微波功率传感器的梁结构各自具有独立的驱动电极，功率分配器包括一个一分五功率分配器和五个一分二功率分配器，终端负载电阻、热电堆对应于精确测量用电容式MEMS微波功率传感器，所有电容式MEMS微波功率传感器、功率分配器、终端负载电阻和热电堆均设置在砷化镓衬底上，通过共面波导CPW连接，信号输入粗测用电容式MEMS微波功率传感器，粗测用电容式MEMS微波功率传感器的输出连接一分五功率分配器，一分五功率分配器的每一个输出支路连接一个一分二功率分配器，每一个一分二功率分配器的输出连接精确测量用电容式MEMS微波功率传感器，每个精确测量用电容式MEMS微波功率传感器对应连接有终端负载电阻，以及对应的热电堆，粗测用电容式MEMS微波功率传感器的输出同时输入反馈数字电路，反馈数字电路与精确测量用电容式MEMS微波功率传感器和热电堆双向连接；其中，粗测用电容式MEMS微波功率传感器的梁宽W_r与精确测量用电容式MEMS微波功率传感器梁宽W_d的关系有两种：（1）、（2）、C_d是精确测量用电容式MEMS微波功率传感器的梁与中心导线的交叠电容，C_r是粗测用电容式MEMS微波功率传感器的梁与中心导线的交叠电容，Z₀是电容式MEMS微波功率传感器共面波导CPW的特征阻抗值，ω是电容式MEMS微波功率传感器共面波导CPW的频率值。