集成电路微观尺寸纳微检测仪

摘要

集成电路微观尺寸纳微检测仪，它涉及微电子检测仪技术领域。它的工业用CCD相机(1)通过标准C接口连接在显微镜(2)上，样品台(3)通过螺纹连接固定在显微镜(2)的底座上，自动聚焦装置(4)通过联轴器连接在显微镜(2)的升降部上，大理石桌面(7)的下端面与柜架(13)之间设置有隔震系统(8)。它克服了现有技术的缺点、增加了功能、降低了成本、简化了结构、易于制造、故障率低、安全可靠、节能环保、便于操作。

主权项

集成电路微观尺寸纳微检测仪，其特征在于它包含工业用CCD相机(1)、显微镜(2)、样品台(3)、自动聚焦装置(4)、光源箱(5)、晶圆角度调整装置(6)、大理石桌面(7)、隔震系统(8)、晶圆片盒(9)、液晶显示器(10)、悬臂(11)、配电箱(12)、柜架(13)和自动上下片装置(14)，工业用CCD相机(1)通过标准C接口连接在显微镜(2)上，样品台(3)通过螺纹连接固定在显微镜(2)的底座上，自动聚焦装置(4)通过联轴器连接在显微镜(2)的升降部上，光源箱(5)通过卡口固定在显微镜(2)上，晶圆片盒(9)、晶圆角度调整装置(6)、自动上下片装置(14)及显微镜(2)的底座均通过螺纹连接固定在大理石桌面(7)上，大理石桌面(7)的下端面与柜架(13)之间设置有隔震系统(8)，悬臂(11)通过螺纹连接固定在柜架(13)侧面，液晶显示器(10)通过螺纹连接固定在悬臂(11)上，配电箱(12)置于柜架(13)内。