感光性组成物、用于感光性组成物之化合物及使用感光性组成物之图案形成方法

摘要

本发明揭示一种感光性组成物，其包括：(A)在以光化射线或放射线照射时可产生具有特定结构之化合物的化合物；一种使用此感光性组成物之图案形成方法，及一种在以光化射线或放射线照射时可产生具有特定结构之化合物的化合物。