| 发明名称 | 气相反应装置 | ||
| 摘要 | 一种气相反应装置，包括：反应室；排气通路，与所述反应室相连，对所述反应室进行排气；反冲气体通路，与所述排气通路相连，反冲气体通过所述反冲气体通路流入所述排气通路，对所述反应室的压强进行调节；压力开关，所述压力开关连接在所述反冲气体通路上。本发明消除了由于压力开关失效而造成的潜在安全隐患，利于延长压力开关的使用寿命，降低运营成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102061457B | 申请公布日期 | 2012.10.31 |
| 申请号 | CN201010524346.3 | 申请日期 | 2010.10.28 |
| 申请人 | 理想能源设备（上海）有限公司 | 发明人 | 汪宇澄 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/455(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种气相反应装置，其特征在于，包括：反应室；排气通路，与所述反应室相连，对所述反应室进行排气，所述排气通路包括真空泵和排气真空管，所述真空泵通过所述排气真空管与所述反应室相连；反冲气体通路，与所述排气通路的排气真空管相连，反冲气体通过所述反冲气体通路流入所述排气通路和所述反应室，对所述反应室的压强进行调节；压力开关，连接在所述反冲气体通路上。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江居里路1号 | ||