多晶硅生产还原炉停炉控制系统及其方法

摘要

本发明涉及一种多晶硅生产还原炉停炉控制系统及控制方法。所述停炉控制系统包括：磁力计算模块，用于计算生长完成的硅棒受到的最大磁力；应力计算模块，用于计算生长完成的硅棒的最小释放应力；停炉优化模块，用于基于该硅棒受到的最大磁力和硅棒的最小释放应力利用优化算法计算出优化停炉时间和优化停炉温度；和控制模块，基于计算出的优化停炉时间和优化停炉温度控制还原炉的停炉。本发明的停炉控制系统及方法缩短了停炉过程降料和降温所需的时间，节约成本，并提高多晶硅生产的安全性和稳定性。

主权项

一种多晶硅生产还原炉停炉控制系统，所述还原炉包括设置在底盘上的硅棒，所述停炉控制系统包括：磁力计算模块，用于计算生长完成的硅棒受到的最大磁力； 应力计算模块，用于计算生长完成的硅棒的最小释放应力；停炉优化模块，用于基于该硅棒受到的最大磁力和硅棒的最小释放应力利用优化算法计算出优化停炉时间和优化停炉温度；和控制模块，基于计算出的优化停炉时间和优化停炉温度控制还原炉的停炉。