| 摘要 |
Способ рафинирования металлургического кремния плазмой сухого аргона с инжекцией воды на поверхность расплава с последующей направленной кристаллизацией, заключающийся в разогреве в тигле неочищенного кремния до получения расплава и обработке расплава плазменным факелом, содержащим инертный газ и пары воды, отличающийся тем, что разогрев и плавление неочищенного кремния производят в вакууме с помощью резистивных нагревателей, при этом кремний помещают в кварцевый тигель прямоугольной формы, расплав кремния обрабатывают факелом плазмы сухого аргона с подачей на поверхность расплава дистиллированной воды под высоким давлением через сопло-форсунку, контроль температуры дна тигля осуществляют с помощью оптического пирометра, слиток поликристаллического кремния формируют методом контролируемой направленной кристаллизации, что позволяет более эффективно обрабатывать расплав кремния окислительно-восстановительной плазмой в вакууме, реализовать способ дополнительной очистки методом контролируемой направленной кристаллизации и получить по окончании процесса готовый к дальнейшему разделению на пластины, слиток поликристаллического кремния с требуемой степенью легирования. |
