一种Na₂SiF₆热解生产SiF₄的方法

摘要

本发明公开了一种利用磷肥工业副产物Na2SiF6热解生产SiF4的方法，该方法的步骤为：将Na2SiF6在真空干燥器内干燥，之后由导料槽进入定量加料器，在定量加料器内与NaF混合后送入高温反应釜或高温循环流化床，在600～750℃热解1～3小时，高温反应釜或高温循环流化床内压力控制为10～50mmH2O，热解产生NaF和SiF4气体；NaF返回定量加料器使用，SiF4气体进入冷凝器冷凝，再经除尘处理后经两级活性炭吸附柱净化，再经冷冻压缩后，导入钢瓶储存。本发明提供的生产方法生产成本低，生产过程中无任何废弃物产生，做到了真正的清洁生产，制得的四氟化硅气体产品的质量稳定，纯度均可达到99.9%。

主权项

一种Na2SiF6热解生产SiF4的方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）Na2SiF6经加料器送入真空干燥器，Na2SiF6在真空干燥器内于200～350℃真空干燥1～3小时；（2）真空干燥完毕后由导料槽送入定量加料器，在定量加料器内与NaF按重量比为Na2SiF6:NaF=10:（1～5）混合后送入高温反应釜或高温循环流化床，在600～750℃热解1～3小时，高温反应釜或高温循环流化床内压力控制为10～50mmH2O，热解产生NaF和SiF4气体；（3）热解产生的NaF返回定量加料器使用，热解产生的SiF4气体由干式真空泵导出，进入冷凝器冷凝，然后再经除尘器去除Na2SiF6微粉，之后依次经一级活性炭吸附柱和二级活性炭吸附柱两级净化，然后再于‑80～‑30℃温度条件下2～5MPa冷冻压缩后，导入压力为2～5MPa的钢瓶储存。