发明名称 |
集成电路的封环结构 |
摘要 |
本发明提供集成电路的多种封环结构,其中一种封环结构包括:封环,沿着集成电路的周边排列,其中,封环至少包括第一部分和第二部分,第二部分位于模拟和/或射频电路块的外侧,且第二部分将模拟和/或射频电路块进行屏蔽;P+区域,形成于P型衬底中,P+区域位于第二部分之下;以及浅沟隔离结构,围绕着P+区域并横向延伸至第二部分的导电环壁的底部。本发明提供的集成电路的封环结构能减少衬底的噪声耦合。 |
申请公布号 |
CN101593737B |
申请公布日期 |
2012.04.04 |
申请号 |
CN200910136291.6 |
申请日期 |
2009.05.05 |
申请人 |
联发科技股份有限公司 |
发明人 |
李东兴;张添昌;钟元鸿 |
分类号 |
H01L23/31(2006.01)I;H01L23/552(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/31(2006.01)I |
代理机构 |
北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 |
代理人 |
葛强;张一军 |
主权项 |
一种集成电路的封环结构,其特征在于,该封环结构包括:封环,沿着该集成电路的周边排列,其中,该封环至少包括第一部分和第二部分,该第二部分位于模拟和/或射频电路块的外侧,且该第二部分将该模拟和/或射频电路块进行屏蔽,其中,该第二部分的导电环壁包括堆叠的硅层、金属层或接触/通孔层;P+区域,形成于P型衬底中,该P+区域位于该第二部分之下;以及浅沟隔离结构,围绕该P+区域并横向延伸至该第二部分的导电环壁的该硅层的底部。 |
地址 |
中国台湾新竹市新竹科学工业园区笃行一路一号 |