| 发明名称 | 检测晶片 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种检测晶片，用于检测旋转单元中的冲洗机构的冲洗状态，其中，所述旋转单元上设置有真空吸盘，该检测晶片为圆片状的玻璃，其背面从外边沿向内的第一圆环区域经过磨砂化处理或贴有磨砂化薄膜，所述第一圆环区域的外径等于玻璃的直径，其内径比真空吸盘的直径大5～10mm；所述玻璃的正面具有第一标记；由于所述第一圆环区域在常规情况下不透明，而接触到冲洗剂后变得透明，因而可直观地了解到检测晶片的哪些部分接触到冲洗剂；并且根据所述第一标记，可清楚地判断冲洗剂喷到检测晶片的初始位置是否在所需范围内；从而为检测冲洗机构的状况提供了方便。 | ||
| 申请公布号 | CN202003970U | 申请公布日期 | 2011.10.05 |
| 申请号 | CN201120130636.X | 申请日期 | 2011.04.28 |
| 申请人 | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 詹云;潘贤俊;张伟 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种检测晶片，用于检测旋转单元中的冲洗机构的冲洗状态，其中，所述旋转单元上设置有真空吸盘，其特征在于，该检测晶片为形状与半导体晶片相同的玻璃，其背面从外边沿向内的第一圆环区域经过磨砂化处理或贴有磨砂化薄膜，所述第一圆环区域的外径等于玻璃的直径，其内径比真空吸盘的直径大5～10mm；所述玻璃的正面具有第一标记。 | ||
| 地址 | 430205 湖北省武汉市东湖技术开发区高新四路18号 | ||