发明名称 IN-LINE VACUUM COATING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP2370612(A1) 申请公布日期 2011.10.05
申请号 EP20090799342 申请日期 2009.12.18
申请人 FHR ANLAGENBAU GMBH 发明人 PFITZNER, MANFRED;SICKERT, GUENTHER;KAISER, ROBERTO;VOGT, ANDREAS
分类号 B01J3/02;C23C14/56;C23C16/458;C23C16/54;F16H1/00;C23C14/50;B01J3/00 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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