发明名称 Method for depositing a polymer layer on a support surface comprising at least one hollow area
摘要
申请公布号 EP1950611(B1) 申请公布日期 2011.08.31
申请号 EP20080354001 申请日期 2008.01.16
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 PUGET, CHRISTIANE;HENRY, DAVID
分类号 G03F7/16 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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