| 发明名称 | 光活性化合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及新的光产酸剂。本发明涉及新的光活性化合物，其在缩微平版印刷术领域用于光刻组合物，尤其用于半导体元件生产中的阴性成像和阳性图像，以及用于光刻胶成像中的光刻胶组合物和工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN102161635A | 申请公布日期 | 2011.08.24 |
| 申请号 | CN201110041970.2 | 申请日期 | 2006.11.15 |
| 申请人 | AZ电子材料美国公司 | 发明人 | D·M·拉曼;M·帕德马纳班 |
| 分类号 | C07C381/12(2006.01)I;C07C309/06(2006.01)I;C07C303/44(2006.01)I;C07C311/48(2006.01)I;C07C309/10(2006.01)I;C07C317/04(2006.01)I;C07C315/06(2006.01)I;C07D305/14(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I | 主分类号 | C07C381/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 夏正东 |
| 主权项 | 1.具有下式的化合物<img file="FDA0000047419490000011.GIF" wi="551" he="441" />其中R<sup>A</sup>、R<sup>B</sup>各自独立地是OR<sup>1</sup>，R<sup>C</sup>独立地是氢或OR<sup>1</sup>，其中每个R<sup>1</sup>独立地是氢，和X<sup>-</sup>是阴离子。 | ||
| 地址 | 美国新泽西 | ||