具有用于气体注入和排出的两个相对袋的反应腔

摘要

本发明通常提供一种批处理腔，其具有石英腔、至少一加热块、连接到石英腔一侧的注入组件和连接到石英腔的相对侧的排出组件。在一个实施方式中，对注入组件进行独立地温度控制。在另一实施方式中，至少一温度传感器设置在石英腔的外侧。

主权项

一种批处理腔，包括：石英腔，用于处理在其内的一批衬底，其中所述石英腔具有形成在所述石英腔的一侧上的注入袋和形成在所述石英腔的相对一侧上的排出袋，并且其中所述注入袋具有沿着所述石英腔的侧面延伸的开口；至少一加热块，设置在石英腔外侧；注入组件，附接到石英腔并且通过所述开口延伸入所述注入袋，其中所述注入组件包括垂直喷头以及具有形成通过所述注入组件的一侧并且在所述垂直喷头的中点附近与所述垂直喷头连接的水平进气道；以及排气组件，附接到石英腔并且延伸入所述排出袋中。