镀膜装置

摘要

一种镀膜装置包括一个镀膜腔体、一个传送带、至少一个隔板以及至少一个支架。所述至少一个传送带设置在所述镀膜腔体内侧底部。所述至少一个隔板设置在所述镀膜腔体内将所述镀膜腔体区分为两个或多个相互隔开的容置空间。所述隔板可相对所述镀膜腔体滑动从而使相邻的两个容置空间相互联通或者相互隔离。所述至少一支架容置在由所述隔板间隔而成的容置空间内，并能在所述传送带的带动下依次进入不同的容置空间内进行镀膜。本发明镀膜装置通过一个具有多个独立容置空间的镀膜腔体对待镀膜工件依次进行单独镀膜，从而避免镀膜过程中所存在的气体污染以及靶材污染的问题，从而有效的提高了镀膜效果。

主权项

一种镀膜装置包括一个镀膜腔体、一个传送带、至少一个隔板以及至少一个支架，所述至少一个传送带设置在所述镀膜腔体内侧底部，所述至少一个隔板设置在所述镀膜腔体内将所述镀膜腔体区分为两个或多个相互隔开的容置空间，所述隔板可相对所述镀膜腔体滑动从而使相邻的两个容置空间相互联通或者相互隔离，所述至少一支架容置在由所述隔板间隔而成的容置空间内，并能在所述传送带的带动下依次进入不同的容置空间内进行镀膜。