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发明名称
摘要
申请公布号 JP4641806(B2) 申请公布日期 2011.03.02
申请号 JP20050012515 申请日期 2005.01.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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