发明名称 VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG MIT OZON
摘要
申请公布号 DE60143019(D1) 申请公布日期 2010.10.21
申请号 DE2001643019 申请日期 2001.01.12
申请人 SEKISUI CHEMICAL CO. LTD. 发明人 YAMAZAKI, KAZUTOSHI;SHIRATO, KOZO;KAWASHIMA, KAZUYASU;SATO, AKIRA;NAGAI, AKIHIKO
分类号 B01F1/00;B01D69/00;B01D71/36;B01F3/04;C01B13/10;C02F1/78;H01L21/304 主分类号 B01F1/00
代理机构 代理人
主权项
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