| 发明名称 | 带缓冲的传输系统 | ||
| 摘要 | 提供了一种用于制造设备的工作流程单元。该工作流程单元包括半导体加工工具和在半导体加工工具附近保持前开式晶片盒(FOUPs)的缓冲站。缓冲站从制造设备的主堆料装置接收FOUPs。缓冲站构造为储存主堆料装置中的一部分FOUPs。工作流程单元还包括连接半导体加工工具和缓冲站的输送机构。在一个实施方式中，输送机构为直接工具装载机构。还提供了具有该工作流程单元的制造设备和用于移动传输容器的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101855718A | 申请公布日期 | 2010.10.06 |
| 申请号 | CN200880107766.2 | 申请日期 | 2008.09.07 |
| 申请人 | 村田自动化机械有限公司 | 发明人 | 安藤光裕 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;B65G1/00(2006.01)I;B65G49/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 田军锋;魏金霞 |
| 主权项 | 一种用于制造设备的配置，包括：半导体加工工具；缓冲站，其在所述半导体加工工具附近保持前开式晶片盒(FOUPs)，所述缓冲站的顶置端口从高架传输(OHT)机构接收所述FOUPs；以及输送机构，其将所述缓冲站的底部端口连接到所述半导体加工工具的装载端口。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||