三维固定研磨物品之原地活化的装置与方法;APPARATUS AND METHOD FOR IN SITU ACTIVATION OF A THREE-DIMENSIONAL FIXED ABRASIVE ARTICLE

摘要

本发明揭示一种包括插入在一基板与一支撑装配件之间的一固定研磨物品之装置。该支撑装配件建立该基板与该固定研磨物品之间介面上的高侵蚀力之区域及低侵蚀力之区域。该高侵蚀力足以活化该固定研磨物品。

主权项

1.一种用于一三维固定研磨物品之原地活化之装置，其包括：a)一三维固定研磨物品，其包括一研磨表面及一对立表面；b)一基板，其包括一第一表面，其中该基板之该第一表面系邻近于该固定研磨物品之该研磨表面；以及c)一支撑装配件，其中该固定研磨物品之该对立表面系邻近于该支撑装配件；其中该支撑装配件系选择成当施加一正交力于该基板、该固定研磨物品及该支撑装配件时，会产生该基板之该第一表面与该固定研磨物品之该研磨表面之间的一接触压力，并且在该基板之该第一表面与该固定研磨物品之该研磨表面之间建立一相对运动，从而建立该固定研磨物品之该研磨表面上一高侵蚀力的一区域，以及该固定研磨物品之该研磨表面上一低侵蚀力的一区域，其中至少该高侵蚀力足以活化该固定研磨物品，并且其中该低侵蚀力小于该高侵蚀力。 ;2.如请求项1之装置，其中该支撑装配件包括一平台、一弹性层及一刚性层，而且可视需要包括至少一个插入在以下各项之至少一项之间的间隔件：a)该平台与该弹性层；b)该弹性层与该刚性层；以及c)该刚性层与该固定研磨物品。 ;3.如请求项2之装置，其中以下各项：该平台、该弹性层、该刚性层及固定在该平台与该固定研磨物品之间的任一层之至少一项，具有一空间调变厚度、一空间调变机械特性或其一组合。 ;4.如请求项1之装置，其进一步包括一定位机制，其中该定位机制相对于该支撑装配件推进该三维固定研磨物品。 ;5.如请求项1之装置，其进一步包括一工作流体，其出现在该基板之该第一表面与该固定研磨物品之该研磨表面之间的一介面上，其中该工作流体可视需要包括以下各项之至少一项：一错合剂，其中该错合剂可视需要为一多齿错合剂；一缓冲液；以及一有机化合物，其包括一羧酸功能基及一第二功能基，其中该第二功能基系选自由胺及卤化物组成的群组，其中该第二功能基可视需要处于相对于该羧酸功能基的α位置。 ;6.如请求项5之装置，其中该错合剂系选自由胺基酸及螫合剂组成的群组。 ;7.如请求项5之装置，其中工作流体包括一有机化合物，其系选自由L脯胺酸、甘胺酸、丙胺酸、精胺酸及离胺酸组成的群组。 ;8.一种用于一三维固定研磨物品之原地活化之装置，其包括：a)一三维固定研磨物品，其包括一研磨表面及一对立表面；b)一基板，其包括一第一表面，其中该基板之该第一表面系邻近于该固定研磨物品之该研磨表面；以及c)一支撑装配件；其中该支撑装配件包括一建立构件，其用以当施加一正交力于该基板、该固定研磨物品及该支撑装配件时，会产生该基板之该第一表面与该固定研磨物品之该研磨表面之间的一接触压力，并且在该基板之该第一表面与该固定研磨物品之该研磨表面之间建立一相对运动，从而建立该固定研磨物品之该研磨表面上一高侵蚀力之一区域，以及该固定研磨物品之该研磨表面上一低侵蚀力之一区域，其中至少该高侵蚀力足以活化该固定研磨物品，并且其中该低侵蚀力小于该高侵蚀力。 ;9.一种用于一三维固定研磨物品之原地活化之方法，其包括：a)提供一基板，其包括一第一表面；b)提供一三维固定研磨物品，其包括一研磨表面及一对立表面；c)将该固定研磨物品之该对立表面与一支撑装配件接触；d)将该基板之该第一表面与该固定研磨物品之该研磨表面接触；e)藉由施加一正交力于该基板、该固定研磨物品及该支撑装配件，建立该固定研磨物品之该研磨表面与该基板之该第一表面之间的一接触压力；以及f)提供该基板之该第一表面与该固定研磨物品之该研磨表面之间的一相对运动，其中该施加的正交力及该基板之该第一表面与该研磨表面之间的该相对运动，建立该固定研磨物品之该研磨表面上的一侵蚀力；其中该支撑装配件系选择成建立一高侵蚀力之一区域及一低侵蚀力之一区域，其中至少该高侵蚀力足以活化该固定研磨物品，并且其中该低侵蚀力小于该高侵蚀力。 ;10.如请求项9之方法，其进一步包括相对于该支撑装配件定位该固定研磨物品，以便该研磨合成物之至少一部分从该高侵蚀力之该区域移向该低侵蚀力之该区域。 ;11.如请求项9之方法，其中修整该基板之该第一表面系藉由该高侵蚀力之该区域中的研磨合成物及该低侵蚀力之该区域中的研磨合成物。 ;12.如请求项9之方法，其进一步包括供应一工作流体给该基板之该第一表面与该固定研磨物品之该研磨表面之间的一介面，其中该工作流体可视需要包括以下各项之至少一项：一错合剂，其中该错合剂可视需要为一多齿错合剂；一缓冲液；以及一有机化合物，其包括一羧酸功能基及一第二功能基，其中该第二功能基系选自由胺及卤化物组成的群组，其中该第二功能基可视需要处于相对于该羧酸功能基的该α位置。 ;13.如请求项12之方法，其中该工作流体包括一有机化合物，其系选自由L脯胺酸、甘胺酸、丙胺酸、精胺酸及离胺酸组成的该群组。;图1显示纹理化三维固定研磨物品。;图2显示可用于表面修整的简化装置。;图3a显示修整基板之前研磨合成物的断面图。;图3b显示修整基板之后图3a的研磨合成物之断面图。;图3c显示当研磨合成物经历活化时图3a的研磨合成物之断面图。;图3d显示当研磨合成物并不经历活化时图3a的研磨合成物之断面图。;图4显示接触本发明之一项具体实施例中的研磨装配件之基板。;图5a显示原地活化之前低侵蚀力之区域中的理想化研磨合成物。;图5b显示经历原地活化的高侵蚀力之区域中的理想化研磨合成物。;图5c显示经历原地活化之后低侵蚀力之区域中的理想化研磨合成物。