发明名称 |
探针尖端 |
摘要 |
为了消除或以其他方式减小由探针臂夹持的探针组件的探针尖端的非预期运动,探针组件包括一个或多个弹性部件,该弹性部件根据制造探针臂的材料的热膨胀系数来补偿探针臂的收缩或膨胀。因此,在自动化的全刻度或宽刻度温度范围扫描期间,探针尖端能够在样品上的期望位置与在测样品保持接触。 |
申请公布号 |
CN101685105A |
申请公布日期 |
2010.03.31 |
申请号 |
CN200910211640.6 |
申请日期 |
2009.08.25 |
申请人 |
湖畔低温电子学公司;株式会社东洋 |
发明人 |
J·C·考迪尔;E·C·马卢夫;山口政纪;水田慎一朗 |
分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
主分类号 |
G01R1/067(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
张 涛 |
主权项 |
1、一种在具有用于接收待测样品的舱体的探针台中使用的探针组件,所述探针组件包括:探针体;探针尖端;以及弹性部件,其中,所述探针尖端连接到所述弹性部件,其中,所述探针尖端能够操作,以在待测位置处与所述舱体内的样品接触,并且,其中,所述弹性部件能够操作,以补偿倾向于使所述探针尖端运动离开所述待测位置的力。 |
地址 |
美国俄亥俄 |